A szilícium-nitrid típusai

A szilícium-nitrid típusai
Mivel az anyag tulajdonságai erősen függnek a gyártási módszertől, a szilícium-nitrid nem tekinthető egyetlen anyagnak. A szilícium-nitrid három fő típusa:

Reakciókötésű szilícium-nitrid (RBSN)
Melegen sajtolt szilícium-nitrid (HPSN)
Szinterezett szilícium-nitridek (SSN)
A reakciókötésű szilícium-nitridet tömörített szilíciumpor közvetlen nitridálásával állítják elő, és a teljes reakció biztosításának nehézségei miatt nehéz nagy komponenssűrűséget elérni. A szokásos sűrűség a 2300-2700kg.m-3 tartományban van, szemben a melegen sajtolt és szinterezett szilícium-nitrid 3200kg.m-3 értékével. A nagyobb sűrűség jobb fizikai tulajdonságokat biztosít a HPSN és SSN anyagoknak, és azt jelenti, hogy igényesebb alkalmazásokban is használhatók. A nitridálás csak kis térfogatváltozást eredményez, ami azt jelenti, hogy az RBSN alkatrészeket a gyártás után nem kell megmunkálni, és összetett, közel hálóformák állíthatók elő egyetlen folyamatlépésben.