Mennyit tud a szilícium-nitridről a szilícium-nitrid szubsztrátumokban?

Ma hadd mutassam besilicon nitridteljesítmény szempontjából.

A fizikai tulajdonságokról

Először is, a szilícium-nitrid termikus tulajdonságai. Ez egy magas hőmérsékletű tűzálló anyag, nincs olvadáspontja. Normál nyomáson körülbelül 1900 ℃-on bomlik le. Erősen ellenáll a nagynyomású kúszással szemben. A kötőanyag nélküli reaktív szinterezett szilícium-nitrid terhelési lágyulási pontja akár 1800 ℃ is lehet. Akkor jó hővezető képességgel és kis hőtágulási együtthatóval rendelkezik. Jó elektromos szigeteléssel, kis dielektromos állandóval és nagy áttörési feszültséggel rendelkezik.

A kémiai tulajdonságokról

Szilícium-nitridjó oxidációs ellenállással rendelkezik, és nem reagál oxigénnel 800 ℃ alatti száraz atmoszférában. Ezenkívül ellenáll az olvadt fémek korróziójának, és nem nedvesíti az elemi fémolvadékot (a réz kivételével), és nem korrodálódik. További jellemzője, hogy hidrogén-fluoridban könnyen oldódik, híg savval nem működik.

A mechanikai tulajdonságokról

Szilícium-nitridjó magas hőmérsékleti szilárdsággal rendelkezik. A magas hőmérsékletű szilárdság 1200°C-on nem csillapítja sokat a szobahőmérsékletű szilárdsághoz képest. Ezen kívül magas hőmérsékletű kúszási sebessége nagyon alacsony. Ezeket mind az erős kovalens kötések természete határozza meg. Nagy a keménysége, csak néhány szuperkemény anyag után, mint a gyémánt, köbös BN, B4C stb. Alacsony súrlódási együtthatója és önkenő tulajdonsága is van, hasonlóan az olajozott fém felületéhez.

A fenti a mai bevezetőszilícium-nitrida fizikai tulajdonságok, a kémiai tulajdonságok és a mechanikai tulajdonságok három aspektusából.